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      當(dāng)前位置:網(wǎng)站首頁產(chǎn)品展示實(shí)驗(yàn)儀器真空泵 > NRL60A/90A/180A日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵
      日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵

      日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵

      簡要描述:● NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。

      產(chǎn)品型號: NRL60A/90A/180A

      所屬分類:真空泵

      更新時(shí)間:2024-08-23

      詳細(xì)說明:

      日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵特長

      ● NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。

      ● 低噪音、低振動(dòng)

      ● 優(yōu)良的耐腐蝕性

      標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理,降低對腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。

      ● 選購件

      可選購消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮?dú)饬髁块_關(guān)、泵溫傳感器。

       

      日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵用途

      ◆ 活性氣體(CVD、刻蝕等)

      ◆ 排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)

      ◆ 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)

      ◆ 作為前級泵使用(渦輪式分子泵、機(jī)械羅茨泵的前級泵)

      ◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣



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