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      產(chǎn)品列表 / products

      日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵技術(shù)資料

      更新時(shí)間:2015-12-28 點(diǎn)擊量:1079

      日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 一、特性

       

      • 雙繞式渦旋泵,含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。

      • 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。

      • 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。

      • 低振動(dòng)低噪音。

      • 維護(hù)周期可通過(guò)計(jì)時(shí)表控制。

       

      日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 二、應(yīng)用

       

      • 分析設(shè)備

      • 氣體回收系統(tǒng)

      • 涂料設(shè)備• TMP 前級(jí)泵

      • 氦滲漏探測(cè)器

      • 半導(dǎo)體制造工藝

       

      日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 三、規(guī)格參數(shù)

       

       

      單位

      50Hz

      60Hz

      實(shí)際抽速

      L/min

      90

      108

      極限壓力

      Pa

      5.0

      馬達(dá)

       

      單相, 100/115/200/230V, 
      150W, 4P, 電容啟動(dòng)運(yùn)行

      滿(mǎn)載電流

      A

      2.6/1.3/1.6
      (100/200/230V)

      2.1/2.2/1.1/1.1 
      (100/115/200/230V)

      重量

      kg

      14.0

      進(jìn)出氣管道直徑

       

      進(jìn)氣管 KF-25 出氣管 KF-16

      環(huán)境溫度

      °C

      5 – 40

      水蒸氣處理

      g/天

      ≤5 (A.F. 開(kāi)啟)

      尺寸

      mm

      214(W) × 308(L) × 225(H)

       

      四、外形圖

       

       

      五、泵數(shù)曲線

       

      六、對(duì)應(yīng)電壓與認(rèn)證

       

      電壓

      現(xiàn)行電壓

      CE 認(rèn)證

      CSA 認(rèn)證

      單相, 
      100V / 115V (60Hz)/ 200-230V

      標(biāo)準(zhǔn)