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      產(chǎn)品列表 / products

      日本ULVAC 羅茨泵技術(shù)資料

      更新時間:2015-12-28 點擊量:1273

      羅茨泵與油旋片真空泵、水環(huán)泵組合用,可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內(nèi)提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合而設(shè)計的。 

      特長 
      結(jié)凈的真空 
      腔體內(nèi)沒有潤滑油,對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。 
      能在高吸入壓強下運轉(zhuǎn) 
      選用比標準電機容量大一級的電機,即可實現(xiàn)在高吸入壓強下的運轉(zhuǎn)。 

      用途 
      照明、電子、光學、半導體鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣真空熱處理爐、燒結(jié)爐、釬焊爐分析儀器、檢漏設(shè)備,CO2激光設(shè)備

       

              機 型

      NB100A

      NB300A

      NB600A

      NB1200A

      項 目

      抽氣速率*3

         m3/h(L/min)

      50Hz

      95(1580)

      280(4670)

      500(8330)

      1000(16667)

      60Hz

      115(1920)

      330(5500)

      600(10000)

      1200(20000)

      zui大吸入壓力      Pa

      (連續(xù)運轉(zhuǎn)時)      

      50Hz

      1.3×103

      1.2×103

      1.3×103

      60Hz

      1.3×103

      9.3×102

      1.1×103

      zui大允許壓力差    Pa

      (排出壓力-吸入壓力)   

      50Hz

      8.0×103

      4.0×103

      7.3×103

      60Hz

      6.7×103

      3.3×103

      6.0×103

      極限壓力          Pa*1

      4.0×10‐1

      6.7×10‐1

      標準粗抽泵

      GLD-N280

      VDN301

      VDN401

      VSN1501

      VSN2401

      VSN1501

      VSN2401

      電    機          kW (極) *2 *4

      0.4(2)

      0.75(2)

      2.2(2)

      3.7(2)

      V-Hz

      380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz

      使 用 油

      ULVOIL® R-4

      所需油量          L

      0.35

      0.70

      1.50

      1.90

      冷卻水量          L/min*6

      空 冷

      2 *5

      2

      3

      進水壓力          MPa

       

      0.3

       

      進出水壓差        MPa

      0.05

      0.1

      重    量          kg

      24

      49

      77.5

      110

      吸氣口徑 (JIS B 2290)

      相當 VG50

      相當 VG80

      相當VG80

      相當VG100

      排氣口徑 (JIS B 2290)

      相當VF50

      相當VF80

      相當VF80

      相當VF80

             

       

      *1  用皮拉尼真空計測量的值,如用麥氏真空計測量,則為4.0×10-2Pa(3.0×10-4Torr),而NB1200A則為6.7×10-2Pa(5.0×10-4Torr)。

      *2  電源為AC380V、50Hz、三相。

      *3  隨粗抽泵的性能而變化,表中為標準泵的組合的數(shù)據(jù)。

      *4  NB300A、NB600A、NB1200A可分別選購1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量電機。

      *5  對于530Pa(4Torr)以下可用空冷,但530Pa(4Torr)以上進行連續(xù)運轉(zhuǎn)必須用水冷。

      *6  冷卻水溫為5~30℃。